苏州智程半导体申请一种流体加热过滤装置专利用以解决现有单路加热装置存在的问题博鱼·boyu体育

　　博鱼金融界 2024 年 9 月 17 日消息，天眼查知识产权信息显示，苏州智程半导体科技股份有限公司申请一项名为“一种流体加热过滤装置“博鱼·boyu体育，公开号 CN7.1，申请日期为 2024 年 8 月博鱼·boyu体育。

　　专利摘要显示，本发明提供了一种流体加热过滤装置博鱼·boyu体育，包括：机架、第一加热部和第二加热部，第一加热部和第二加热部均安装于机架内，机架连通进液口，流体介质经进液口通过控制液路流入第一加热部或第二加热部，再由第一加热部和第二加热部流出后经过控制液路流入过滤装置；控制液路包括进液通道以及出液通道博鱼·boyu体育，进液通道与进液口连通并连通至第一加热部以及第二加热部的进液端，第一加热部和第二加热部的出液端汇集至出液通道，出液通道通过出液口穿出机架；机架内垂直固定背板博鱼·boyu体育，第一加热部和第二加热部分别固接于背板长度方向两侧。本发明用以解决现有技术中存在的单路加热装置存在的加热效率低、难以满足晶圆清洗需求的问题。