博鱼(中国)官方网站-BOYU SPORTS粤芯半导体取得嵌入式闪存器件的制作方法专利有效降造成本

　　博鱼金融界2024年9月5日消息，天眼查知识产权信息显示博鱼(中国)官方网站-BOYU SPORTS，粤芯半导体技术股份有限公司取得一项名为“嵌入式闪存器件的制作方法“博鱼(中国)官方网站-BOYU SPORTS，授权公告号CN118401005B，申请日期为2024年6月。

　　专利摘要显示博鱼(中国)官方网站-BOYU SPORTS，本发明提供一种嵌入式闪存器件的制作方法，包括：在衬底上形成高压NMOS器件的第一栅极和高压PMOS器件的第二栅极；在无掩膜的条件下向衬底进行高压PMOS的浅掺杂漏注入，注入同时在高压NMOS器件的第一栅极两侧的衬底和高压PMOS器件的第二栅极两侧的衬底形成P型浅掺杂漏区；在衬底上制作图形掩膜层，图形掩膜层具有用于高压NMOS器件的掺杂漏注入的窗口并遮蔽衬底的其余区域；基于窗口向衬底进行高压NMOS器件的浅掺杂漏注入，以使第一栅极两侧衬底的P型浅掺杂漏区反型为N型浅掺杂漏区。本发明可以有效节省高压PMOS器件浅掺杂漏注入所需的掩膜版，可以有效降造成本，缩短生产周期博鱼(中国)官方网站-BOYU SPORTS博鱼(中国)官方网站-BOYU SPORTS，提高生产效率。