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光学设备在半导体制造领域的部分应博鱼(中国)官方网站用

发布日期:2024-08-20 06:51 浏览次数:

  博鱼半导体是指具有半导体特性的材料,它们在一定条件下能够传导电流,但在其他条件下却能阻止电流的通过。半导体的导电性能介于导体和绝缘体之间。常见的半导体材料包括硅、锗、砷化镓等。

  半导体作为当代科技的核心组成部分,半导体目前在电子、通信、计算机、医疗、光伏和汽车领域发挥着举足轻重的作用。通过对半导体材料、工艺和使用技术的不断探索,未来在新材料和新工艺的研究与应用、集成化与智能化、环保和可持续发展、生物电子与神经科技和量子计算与量子通信等领域都极可能是新的趋势。

  半导体产品的制造需要数百个工艺,通常来讲,整个制造过程分为八个步骤:晶圆加工-氧化-光刻-刻蚀-薄膜沉积-互连-测试-封装。

  在晶圆切割中,卓立汉光提供压电系列产品,比如Carrier系列物镜对焦台和Carrier系列多维运动位移台。

  在光刻工艺中,卓立汉光可以提供主动隔振台、气浮直线电机、单维或多维扫描描台和物镜对焦台等压电产品和193nm激光器。

  IXION 193为全固化单频激光器,其线宽达到变换极限,可用于光学计量、193nm 步进光学系统校准、高功率准分子激光器种子等。

  为了创建芯片内部的微型器件,需要不断地沉积一层层的薄膜并通过刻蚀去除掉其中多余的部分,另外还要添加一些材料将不同的器件分离开来。每个晶体管或存储单元就是通过上述过程一步步构建起来的。这里所说的“薄膜”是指厚度小于1微米(μm,百万分之一米)、无法通过普通机械加工方法制造出来的“膜”。将包含所需分子或原子单元的薄膜放到晶圆上的过程就是“沉积”。

  要形成多层的半导体结构,需要先制造器件叠层,即在晶圆表面交替堆叠多层薄金属(导电)膜和介电(绝缘)膜,之后再通过重复刻蚀工艺去除多余部分并形成三维结构。可用于沉积过程的技术包括化学气相沉积 (CVD)、原子层沉积 (ALD) 和物理气相沉积 (PVD),采用这些技术的方法又可以分为干法和湿法沉积两种。

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