博鱼【聚焦实体经济】江苏矽腾半导体材料：技术创新为企业发展赋能

　　博鱼江苏矽腾半导体材料有限公司2022年底落户如东经济开发区（高新区）以来，不断创新技术，改进工艺，现已获得一项发明专利，多项实用新型专利正在申请授权。

　　江苏矽腾半导体材料有限公司是一家专业从事高品质半导体单晶生产的企业博鱼，单晶硅棒经过切断、外径滚圆、切片、倒角、研磨博鱼博鱼、腐蚀、清洗等步骤后成为单晶硅片，是半导体硅器件的原料。单晶硅棒是硅元素在三维空间按规律重复排列而成形成的，企业通过调整其他元素的掺杂量来改变电阻率，以满足不同用途的需求。据了解，目前矽腾半导体在掺杂法上取得新突破。“以往的气相掺杂法会有大量的掺杂剂被汽化带出炉体，我们采用了新型的气相掺杂法后，掺杂剂的使用量得到了大幅的降低，一方面提升效率，一方面减少材料的损失。”公司董事长程冬平介绍。

　　除了新的气相掺杂法，矽腾半导体在真空泵油、热场改造博鱼、管道制冷等方面不断改进技术博鱼，减少生产中油量、电量的使用，单晶硅棒生长技术更为成熟，生产过程更加稳定。目前该企业12台单晶炉已经全部投入生产，据程冬平介绍，项目计划共投入34台单晶炉，满产后，预计产能205吨，预计年销售额达到1.6亿元。